杜邦Dupont AmberLite UP4000OH ion exchange resin离子交换树脂 8. 系统设计与半导体级超纯水效能
杜邦Dupont AmberLite UP4000OH ion
exchange resin离子交换树脂 8.
系统设计与半导体级超纯水效能
杜邦Dupont AmberLite UP4000OH ion exchange resin离子交换树脂为半导体级均粒凝胶型强碱阴离子树脂,专用于半导体超纯水制备,核心功能深度脱除阴离子、二氧化硅、TOC、超低泄漏、高纯稳定。杜邦Dupont AmberLite UP4000OH ion exchange resin离子交换树脂以完全再生 OH 型供应,杂质含量极低,可高效去除水中微量阴离子、二氧化硅、TOC,出水电阻率稳定>18.2MΩ・cm、TOC<0.05mg/L、二氧化硅<1ppb,满足半导体晶圆制造、光刻、清洗等高端工艺超纯水要求。系统设计结合树脂高纯度、低泄漏、均粒低压降特性,床层高度 1.2–2.0m,流速 5–10m/h,适配反渗透后单床除硼、混床精处理等场景。配套超纯水前置处理,去除微量杂质与 TOC,保护树脂性能。长期运行稳定、寿命长,超低泄漏,保障半导体工艺良率与产品质量。
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